單項(xiàng)選擇題下列哪種說(shuō)法不符合綠色制造的的思想（）

A.對(duì)生態(tài)環(huán)境無(wú)害
B.資源利用率高，能源消耗低
C.為企業(yè)創(chuàng)造利潤(rùn)


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1.單項(xiàng)選擇題在進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量非導(dǎo)體的零件表面形貌時(shí)，常采用的測(cè)量?jī)x器為（）

A.光學(xué)顯微鏡
B.掃描隧道顯微鏡
C.原子力顯微鏡

2.單項(xiàng)選擇題光刻加工采用的曝光技術(shù)中具有最高分辨率的是（）

A.電子束曝光技術(shù)
B.離子束曝光技術(shù)
C.X射線曝光技術(shù)

3.單項(xiàng)選擇題硅微體刻蝕加工和硅微面刻蝕加工的區(qū)別在于（）

A.體刻蝕加工對(duì)基體材料進(jìn)行加工，而面刻蝕加工不對(duì)襯底材料進(jìn)行加工
B.體刻蝕加工不對(duì)基體材料進(jìn)行加工，而面刻蝕加工對(duì)襯底材料進(jìn)行加工
C.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu)，而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu)

4.單項(xiàng)選擇題光刻加工的工藝過(guò)程為（）

A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗
B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴(kuò)散
C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原

5.單項(xiàng)選擇題FMS非常適合（）

A.大批大量生產(chǎn)方式
B.品種單一、中等批量生產(chǎn)方式
C.多品種、中小批量生產(chǎn)