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問答題多晶硅鑄模的制造成技術有哪些？

1.填空題目前正在廣泛研究的有化學氣相沉積法、（）、固相結晶、等。

2.填空題結晶硅具有（）型能帶結構，因此吸收系數(shù)較小，有必要進行封閉，活性層的厚度為數(shù)µm的薄膜太陽能電池也可得到高的轉(zhuǎn)換效率。

3.填空題干式法由于應力自由，因此即可以適用于切割大面積基片，又可以適用于（）的過程。

4.填空題多晶硅表面的結晶面是多重的，因此不能像單晶硅基片那樣，使用（）的不同方向腐蝕的化學蝕刻方法。

5.填空題由于有漏電電流流動，使所謂的反向飽和電流密度（），從而減少了開路電壓。