分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

工業(yè)機器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

離子濺射泵的特點是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？