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問(wèn)答題試述光刻加工的主要階段？

光刻加工可分為兩個(gè)加工階段，第一階段為原版制作，生成工作原版或工作掩膜，為光刻加工時(shí)用；第二階段為光刻。

1.問(wèn)答題微型機(jī)械的特點(diǎn)有哪些？微細(xì)加工與一般尺寸加工是不同點(diǎn)在哪幾個(gè)方面？

2.問(wèn)答題超精密機(jī)床部件有什么特點(diǎn)，超精密機(jī)床的進(jìn)給機(jī)構(gòu)通常采用什么樣裝置？精密與超精密加工對(duì)環(huán)境有哪些要求？

3.問(wèn)答題精密磨削、精密與超精密砂帶磨削機(jī)理。

4.問(wèn)答題試述精密與超精密加工的主要發(fā)展趨勢(shì)，超精密加工技術(shù)目前研究主要方向是什么？

5.問(wèn)答題為什么說(shuō)先進(jìn)制造技術(shù)在制造業(yè)中占有相當(dāng)重要的地位，其結(jié)果表現(xiàn)為以下哪幾個(gè)方面？