RF電源故障解析：同一個腔體內若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉速失控或停轉。

物聯網（Internet of things）被稱為是信息技術的一次革命性創(chuàng)新，成為國內外IT 業(yè)界和社會關注的焦點之一。它可以分為標識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應的關鍵技術為（）。