單項(xiàng)選擇題半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程傳統(tǒng)的控制手段主要是固定工藝方案的單變量常規(guī)控制,比如()、壓力等環(huán)境參數(shù)的定值控制。

A.溫度
B.濕度
C.流量
D.差壓


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