（）又稱(chēng)“島式加工單元”。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱(chēng)為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國(guó)內(nèi)外IT 業(yè)界和社會(huì)關(guān)注的焦點(diǎn)之一。它可以分為標(biāo)識(shí)、感知、處理、信息傳送四個(gè)環(huán)節(jié)。其中“感知”對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性?xún)?nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線(xiàn)，其中任何一根線(xiàn)頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線(xiàn)接線(xiàn)端子排、變頻器（）。