A.高效機(jī)械泵 B.擴(kuò)散泵 C.吸附泵 D.機(jī)械泵與擴(kuò)散泵聯(lián)用
A.加大系統(tǒng)的真空度 B.降低系統(tǒng)的真空度 C.降低真空系統(tǒng)真空度的波動(dòng)范圍
A.加大系統(tǒng)的真空度 B.降低系統(tǒng)的真空度 C.降低真空系統(tǒng)真空度的波動(dòng)范圍 D.為了方便