從天然硅中獲得達到生產半導體器件所需純度的SGS要經過（）等步驟。

晶體管的名字取自于（）和（）兩詞。

BiCMOS技術就是將（）和（）的優(yōu)良性能集中在同一塊集成電路器件中。BiCMOS綜告了CMOS結構的低功耗、高集成度和TTL或ECL器件結構的高電流驅動能力。

半導體工藝技術中，器件互連材料通常包括（）等。

規(guī)定版圖幾何設計規(guī)則的意義是什么？

目前集成電路版圖設計的主流工具有哪些？

為提高CMOS集成電路的抗自鎖能力，可在版圖設計上采取哪些措施？

材料根據流經材電流的不同可分為三類（）。

由于襯底材料的緣故會自動產生電容，這種電容稱為（）。

MOS場效應管（MOSFET）在20世紀70年代得到了廣泛的接受，從那時起到現在一直是集成電路的主流晶體管。MOSFET有兩類（）和（）。每種類型可由各自器件的多數載流子來區(qū)別。