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保形覆蓋
答案:
保形覆蓋是指無論襯底表面有什么樣的傾斜圖形在所有圖形的上面都能沉積有相同厚度的薄膜。
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名詞解釋
橫向擴(kuò)散
答案:
由于光刻膠無法承受高溫過程,擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片,它們向各個(gè)方向運(yùn)動(dòng):向硅的內(nèi)部,橫向和重...
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名詞解釋
恒定表面源擴(kuò)散
答案:
在整個(gè)擴(kuò)散過程中,雜質(zhì)不斷進(jìn)入硅中,而表面雜質(zhì)濃度始終保持不變。
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