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名詞解釋
飽和蒸氣壓
答案：
在一定的溫度下，真空室內(nèi)蒸發(fā)物質(zhì)的蒸氣與固態(tài)或液態(tài)平衡時所表現(xiàn)出來的壓力。
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名詞解釋
物理氣相淀積（pvd）
答案：
利用某種物理過程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實現(xiàn)物質(zhì)的轉(zhuǎn)移，即原子或分子由源轉(zhuǎn)移到襯底表面上，并淀積成薄膜。
