多項選擇題UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

A.可調(diào)整排氣速度
B.可調(diào)節(jié)腔體真空度
C.無需流量調(diào)節(jié)閥
D.降低故障風(fēng)險


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1.多項選擇題油擴(kuò)散泵的優(yōu)點是什么（）？

A.構(gòu)造簡單、故障少
B.價格低廉
C.低振動低噪音
D.可高速運(yùn)轉(zhuǎn)

2.多項選擇題離子濺射泵的特點是什么（）？

A.無機(jī)械運(yùn)動部分
B.無振動
C.無需再生
D.無噪音

3.多項選擇題屬于高真空泵的是哪一種（）？

A.分子泵
B.擴(kuò)散泵
C.油回轉(zhuǎn)泵
D.低溫泵

4.多項選擇題油擴(kuò)散泵的缺點是什么（）？

A.噪音大
B.需要水冷擋板
C.啟動停止需要時間
D.存在油污染

5.多項選擇題檢漏儀靈敏度下降的原因有（）。

A.離子源老化
B.分析部污染
C.內(nèi)漏
D.設(shè)定參數(shù)不對