對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

工業(yè)機(jī)器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

從外圍設(shè)備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

（）又稱“島式加工單元”。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。