（）又稱“島式加工單元”。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

對于一些復(fù)雜的焊接任務(wù)，必須依靠焊接機器人與輔助設(shè)備作業(yè)過程中同步協(xié)調(diào)運動，這需要用到（）。

下列各項，不屬于工業(yè)中常用的機器視覺系統(tǒng)上位機的是（）。