下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

RF 電源適用的設備是（）。