RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

下列各項(xiàng)，不屬于工業(yè)中常用的機(jī)器視覺系統(tǒng)上位機(jī)的是（）。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見故障有（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。