RF 電源適用的設(shè)備是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

對(duì)于一些復(fù)雜的焊接任務(wù)，必須依靠焊接機(jī)器人與輔助設(shè)備作業(yè)過(guò)程中同步協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，這需要用到（）。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見故障有（）。