RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會發(fā)生哪些異常（）？

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險(xiǎn)。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

下列各種設(shè)備型號中，屬于焊接變位機(jī)的是（）。