RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會發(fā)生哪些異常（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動。

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

下列各種設(shè)備型號中，屬于焊接變位機(jī)的是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

EnDpointDeteCtion 方法有（）。