對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

弧焊機(jī)器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？