下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

RF 電源適用的設備是（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。