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化學(xué)氣相沉積
答案:
化學(xué)氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產(chǎn)生反應(yīng),在表面上以薄膜形式產(chǎn)生固態(tài)的副產(chǎn)品,其它的副產(chǎn)品是揮發(fā)性的會(huì)從表面離開。
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