名詞解釋

物理氣相沉積

答案： “物理氣相沉積”通常指滿意下面三個(gè)步驟的一類薄膜生長(zhǎng)技術(shù)：A.所生長(zhǎng)的材料以物理的方式由固體轉(zhuǎn)化...

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化學(xué)氣相沉積

答案：化學(xué)氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產(chǎn)生反應(yīng)，在表面上以薄膜形式產(chǎn)生固態(tài)的副產(chǎn)品，其它的副產(chǎn)品是揮發(fā)性的會(huì)從表面離開。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】硅錠直徑從20世紀(jì)50年代初期的不到25mm增加到現(xiàn)在的300mm甚至更大，其原因是什么？

答案：（1）更大直徑硅片有更大的表面積做芯片，能夠減少硅片的浪費(fèi)。
（2）每個(gè)硅片上有更多的芯片，每塊芯片的加工和處...