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蒸發(fā)鍍膜
答案:
加熱蒸發(fā)源,使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出,形成蒸汽流并入射到硅片(襯底)表面,凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。
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