離子濺射泵的特點是什么（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

工業(yè)機器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

應用在真空中的各式材料包括（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

UTM300B 泵的特點是什么（）？

工業(yè)機器人對安裝環(huán)境的要求有（）。