問(wèn)答題試說(shuō)明半導(dǎo)體制造中擴(kuò)散工藝的主要目的。列出并解釋實(shí)際擴(kuò)散工藝的主要步驟,并說(shuō)明個(gè)步驟的主要作用和工藝溫度。

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