單項選擇題以下不屬于電子束加熱的優(yōu)點的是()。
A.蒸發(fā)溫度高
B.工藝設備簡單
C.熱效率高
D.高純度淀積
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1.單項選擇題?以下不屬于真空蒸發(fā)過程的是()。
A.氣相輸運
B.薄膜淀積
C.薄膜定向
D.加熱蒸發(fā)
2.單項選擇題以下磷(P)源屬于氣態(tài)源的是()。
A.POCl3
B.P2O5
C.PH3
D.PCl3
3.單項選擇題?以下哪一項不屬于擴散的局限性?()
A.工藝簡單
B.高溫、深結
C.不能獨立控制結深和濃度
D.橫向擴散
4.單項選擇題擴散的雜質分布包括()和有限表面源分布。
A.無限表面源分布
B.雜質總量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布
5.單項選擇題根據擴散系數的定義,其受以下哪個因素的影響最大?()
A.雜質類型
B.擴散時間
C.雜質激活能
D.溫度
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