問(wèn)答題根據(jù)氧化物的生長(zhǎng)規(guī)律,試說(shuō)明熱氧化生長(zhǎng)過(guò)程中的兩個(gè)主要階段,并說(shuō)明它們分別位于氧化生長(zhǎng)過(guò)程中的哪一時(shí)段,各自的生長(zhǎng)模型和規(guī)律以及反映生長(zhǎng)速率的參數(shù)和影響該參數(shù)的主要因素是什么?

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