單項選擇題與真空蒸發(fā)相比，濺射薄膜的臺階覆蓋性好，關(guān)鍵在于（）。

A.濺射工藝重復性好
B.濺射角度大
C.濺射工藝復雜
D.濺射原子遷移能力強


您可能感興趣的試卷

你可能感興趣的試題

1.單項選擇題?以下不屬于真空蒸發(fā)的局限性的是（）。

A.生長機理簡單
B.工藝重復性
C.臺階覆蓋能力差
D.薄膜與襯底附著力小

2.單項選擇題以下不屬于電子束加熱的優(yōu)點的是（）。

A.蒸發(fā)溫度高
B.工藝設(shè)備簡單
C.熱效率高
D.高純度淀積

3.單項選擇題?以下不屬于真空蒸發(fā)過程的是（）。

A.氣相輸運
B.薄膜淀積
C.薄膜定向
D.加熱蒸發(fā)

4.單項選擇題以下磷（P）源屬于氣態(tài)源的是（）。

A.POCl3
B.P2O5
C.PH3
D.PCl3

5.單項選擇題?以下哪一項不屬于擴散的局限性？（）

A.工藝簡單
B.高溫、深結(jié)
C.不能獨立控制結(jié)深和濃度
D.橫向擴散