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1.熱生長SiO2只能在Si襯底上生長;
2.CVD SiO2可以淀積在硅襯底上,也可以淀積在金屬、陶瓷、及其它半導體材料上;
3.CVD SiO2,襯底硅不參加反應;
4.CVD SiO2,溫度低。
A.1、2
B.2、4
C.1、4
D.1、2、4
E.1、2、3、4
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