單項(xiàng)選擇題當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層,開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
A.最低摻雜劑量
B.臨界劑量
C.損傷劑量
D.摻雜劑量
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1.多項(xiàng)選擇題下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au
2.多項(xiàng)選擇題鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有()。
A.有效柵寬變窄
B.電流減少
C.電容增加
D.電阻增大
3.多項(xiàng)選擇題消除鳥嘴效應(yīng)的方法有()。
A.選擇合適的掩蔽膜
B.在氧化前,將窗口處的硅腐蝕掉深度,再進(jìn)行局部氧化
C.退火
D.高壓氧化工藝
4.單項(xiàng)選擇題濕氧氧化采用的氧化水溫是()。
A.95度
B.90度
C.80度
D.75度
5.單項(xiàng)選擇題硅暴露在空氣中,在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層,厚度約為()。
A.30nm
B.10nm
C.20nm
D.25nm
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