問答題
某一電容測微儀,其傳感器的圓形極板半徑r=4mm,工作初始間隙d=0.3mm,問:
(1)工作時,如果傳感器與工件的間隙變化量Δd=2μm時,電容變化量為多少?
(2)如果測量電路的靈敏度S1=100mV/pF,讀數(shù)儀表的靈敏度S2=5格/mV,在Δd=2μm時,讀數(shù)儀表的示值變化多少格?
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