填空題干法刻蝕適用于() (粗/細)線條。
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1.判斷題擴散只用于淺結(jié)的制備
3.單項選擇題離子注入與熱擴散相比,哪個橫向效應(yīng)小()
A. 離子注入
B. 熱擴散
4.單項選擇題
二氧化硅膜能有效的對擴散雜質(zhì)起掩蔽作用的基本條件有哪些()
①雜質(zhì)在硅中的擴散系數(shù)大于在二氧化硅中的擴散系數(shù)
②雜質(zhì)在硅中的擴散系數(shù)小于在二氧化硅中的擴散系數(shù)
③二氧化硅的厚度大于雜質(zhì)在二氧化硅中的擴散深度
④二氧化硅的厚度小于雜質(zhì)在二氧化硅中的擴散深度
A.②④
B.①③
C.①④
D.②③
5.單項選擇題在溫度相同的情況下,制備相同厚度的氧化層,分別用干氧,濕氧和水汽氧化,哪個需要的時間最長?()
A.干氧
B.濕氧
C.水汽氧化
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