填空題肖特基接觸呈現(xiàn)(),肖特基結(jié)的高低由()差決定;歐姆接觸呈現(xiàn)()特性,接觸電阻可以低到10-7歐姆·厘米。IC的互連線(xiàn)金屬要求與半導(dǎo)體襯底實(shí)現(xiàn)(),所以,源、漏、多晶硅等的摻雜濃度必須高于()。
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目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種?()
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