硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）

化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。

硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。