化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

光刻工藝對準誤差包括（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。

當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。

光刻工藝的設(shè)備核心是（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

摻雜后，退火的目的是（）。