互連工藝中AL的制備可選用（）。

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

光刻工藝對準(zhǔn)誤差包括（）。