消除鳥嘴效應的方法有（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。

光刻工藝的特點包括（）。

如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物？（）

三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。