判斷題涂膠前的打底膜是為了增強(qiáng)光刻膠與襯底之間的浸潤性。
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2.判斷題中子嬗變摻雜不能用于制備p型硅錠。
4.多項選擇題蒸鍍工藝要求蒸鍍室為高真空度的原因()
A.為了避免蒸發(fā)分子(或原子)被氧化
B.為了降低鍍膜中的雜質(zhì)
C.為了減小蒸發(fā)分子(或原子)的平均自由程
D.為了制備的鍍膜表面更平坦
5.單項選擇題PVD與CVD比較,下列哪種說法正確()
A.CVD普適性更好
B.PVD薄膜的保形性更好
C.CVD工藝溫度更低
D.PVD薄膜與襯底的粘附性較差
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