單項(xiàng)選擇題摻氯氧化使用的HCL是()。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源


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2.單項(xiàng)選擇題以下哪項(xiàng)不是STI工藝氣體?()

A.SiH4
B.O2
C.N2O
D.Ar

3.單項(xiàng)選擇題CMP清洗部分的順序是()。

A.兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)-Brush(刷洗)
B.兆聲清洗(Meg)-Brush(刷洗)-SRD(甩干)
C.Brush(刷洗)-兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)
D.Brush(刷洗)-SRD(甩干)-兆聲清洗(Meg)

4.單項(xiàng)選擇題高電流注入機(jī)的掃描方式為()。

A.靜電掃描
B.機(jī)械掃描
C.靜電掃描與機(jī)械掃描結(jié)合

5.單項(xiàng)選擇題下列選項(xiàng)屬于BF3的特性的是()

A.黃色標(biāo)識,有白煙
B.紅色標(biāo)識,臭大蒜味道
C.黑色標(biāo)識,無色大蒜味