填空題要實現(xiàn)金屬互連線與Si的良好歐姆接觸,還必須做()處理。為了避免鋁釘扎和電遷移現(xiàn)象,常用()、()合金和()替代純鋁。鋁合金化工藝的條件是:()
您可能感興趣的試卷
最新試題
IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
題型:多項選擇題
化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個?()
題型:單項選擇題
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
題型:多項選擇題
新的平坦化方法有哪幾個?()
題型:多項選擇題
摻雜后,退火的目的是()。
題型:多項選擇題
硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項?()
題型:單項選擇題
注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)?()
題型:單項選擇題
厚膜電阻的成分,一是導(dǎo)體顆粒,二是()。
題型:單項選擇題
當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層,開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
題型:單項選擇題
刻蝕過程中聚合物形成的來源有()。
題型:多項選擇題