填空題曝光后顯影時感光的膠層沒有溶解,沒有感光的膠層溶解,這種膠為()(正/負)膠。
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2.單項選擇題
下面選項屬于主擴散的作用有()。
1.調節(jié)表面濃度
2.控制進入硅表面內部的雜質總量
3.控制結深
A.1
B.2
C.3
D.1、3
3.單項選擇題
不論正膠或負膠,光刻過程中都包括如下步驟:
1.刻蝕
2.前烘
3..顯影
4.去膠
5.涂膠
6.曝光
7.堅膜
以下選項排列正確的是:()。
A.2561437
B.5263471
C.5263741
D.5263714。
4.單項選擇題半導體器件生產中所制備的二氧化硅薄膜屬于()。
A.結晶形二氧化硅
B.無定形二氧化硅
5.名詞解釋再分布
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