金屬化中可選用的金屬材料有（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

化學(xué)機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

光刻工藝的設(shè)備核心是（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）