單項(xiàng)選擇題下面哪種方式也稱為濕法去膠？（）

A.等離子去膠
B.溶劑去膠
C.氧化去膠
D.三氯乙烯去膠


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1.單項(xiàng)選擇題

下圖屬于什么光刻機(jī)？（）

A.接觸式光刻機(jī)
B.步進(jìn)掃描光刻機(jī)
C.分布重復(fù)光刻機(jī)
D.接近式光刻機(jī)

2.單項(xiàng)選擇題對(duì)于0.25um及以下的隔離技術(shù)采用以下（）方式。

A.局部氧化隔離
B.PN結(jié)隔離
C.PN結(jié)-介質(zhì)隔離
D.淺槽隔離

3.單項(xiàng)選擇題WCVD工藝第一步是（）。

A.浸潤(rùn)
B.成核
C.BULK
D.直接反應(yīng)

4.單項(xiàng)選擇題Liner barrier阻擋金屬間擴(kuò)散作用的金屬是（）。

A.金屬Al
B.金屬鈦
C.金屬氮化鈦
D.金屬鎢

5.單項(xiàng)選擇題摻氯氧化使用的HCL是（）。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源