單項(xiàng)選擇題WCVD工藝第一步是()。

A.浸潤(rùn)
B.成核
C.BULK
D.直接反應(yīng)


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1.單項(xiàng)選擇題Liner barrier阻擋金屬間擴(kuò)散作用的金屬是()。

A.金屬Al
B.金屬鈦
C.金屬氮化鈦
D.金屬鎢

2.單項(xiàng)選擇題摻氯氧化使用的HCL是()。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源

4.單項(xiàng)選擇題以下哪項(xiàng)不是STI工藝氣體?()

A.SiH4
B.O2
C.N2O
D.Ar

5.單項(xiàng)選擇題CMP清洗部分的順序是()。

A.兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)-Brush(刷洗)
B.兆聲清洗(Meg)-Brush(刷洗)-SRD(甩干)
C.Brush(刷洗)-兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)
D.Brush(刷洗)-SRD(甩干)-兆聲清洗(Meg)