硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

光刻工藝的特點包括（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。