問(wèn)答題簡(jiǎn)述光刻膠的成分特征。
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1.問(wèn)答題簡(jiǎn)述表征光刻膠特性、性能和質(zhì)量的參數(shù)。
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3.問(wèn)答題光刻技術(shù)中的常見(jiàn)問(wèn)題有那些?
5.問(wèn)答題什么是光刻,光刻系統(tǒng)的主要指標(biāo)有那些?
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光刻工藝對(duì)準(zhǔn)誤差包括()。
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目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種?()
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進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是()。
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題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題