單項選擇題光刻時,將掩模版直接放在晶圓表面,與表面的光刻膠接觸,該種光刻方式稱為()。

A.接觸式
B.接近式
C.投影式
D.步進式


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3.單項選擇題我們利用LOCOS技術制作MOS中的()。

A.場氧區(qū)
B.源、漏
C.柵
D.有源區(qū)

5.單項選擇題MOS晶體管的源區(qū)、漏區(qū)及源、漏之間的溝道區(qū)域通常稱為()。

A.有源區(qū)
B.場區(qū)
C.襯底區(qū)
D.阱區(qū)