單項選擇題顯影后,被曝光區(qū)域的光刻膠被去除,該種光刻膠稱為()。
A.負膠
B.正膠
C.光刻抗蝕劑
D.光阻
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1.單項選擇題MOS晶體管的源區(qū)、漏區(qū)及源、漏之間的溝道區(qū)域通常稱為()。
A.有源區(qū)
B.場區(qū)
C.襯底區(qū)
D.阱區(qū)
2.單項選擇題氧化層中摻雜了硼雜質(zhì),一般稱為()。
A.PSG
B.BPSG
C.BSG
D.FSG
3.單項選擇題如果制作柵氧結(jié)構(gòu),一般采用的方法是()。
A.濕氧氧化
B.氫氧合成
C.CVD
D.干氧氧化
最新試題
光刻時,將掩模版直接放在晶圓表面,與表面的光刻膠接觸,該種光刻方式稱為()。
題型:單項選擇題
一個四輸入的或非門,一般采用幾個pitch?()
題型:單項選擇題
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題型:單項選擇題
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CMOS制作時,常常用作鈍化層的材料是()。
題型:多項選擇題
氧化層中摻雜了硼雜質(zhì),一般稱為()。
題型:單項選擇題
外延雙阱工藝的優(yōu)點包括()。
題型:多項選擇題