集成電路技術(shù)綜合練習(xí)問(wèn)答題每日一練(2019.01.26)

探針、探針陣列或探頭工具

掩蔽雜質(zhì)、作為柵氧化層、表面鈍化和保護(hù)、介質(zhì)隔離、絕緣介質(zhì)等作用

作用是激活注入的離子，恢復(fù)遷移率及其他材料參數(shù)。

系統(tǒng)知識(shí)，電路知識(shí)，工具知識(shí)，工藝知識(shí)